掩模原图检测

灰度化处理：将输入图像转换为灰度图，以减少数据量和复杂性。

背景减除：对比原图和掩模图，去除常见背景，仅保留前景差异部分。

边缘检测：应用Canny、Sobel等边缘检测算法识别图像边缘特征。

模板匹配：使用图像内的模板进行匹配，检查图像与掩模的匹配程度，识别出差异部分。

轮廓检测：通过找出图像中的轮廓来分析物体形状及与掩模的对比。

二值化处理：将图像转换为黑白图，以简化对比分析，突出前景物体。

图像分割：利用分割算法，将图像分成不同区域，寻求与掩模一致性。

光学显微镜（Optical Microscope）：用于以高分辨率观察掩模表面缺陷和结构。通过放大图像，可以目视检查掩模的精细细节。

电子显微镜（Electron Microscope）：提供比光学显微镜更高的分辨率，适用于检测更微小的缺陷和掩模上的复杂结构。

激光干涉仪（Laser Interferometer）：利用激光干涉技术精确测量掩模表面的平整度和光学特性。

扫描探针显微镜（Scanning Probe Microscope）：通过扫描探针检测掩模表面的微观形貌和电性能，识别潜在缺陷。

光学图像比较仪（Optical Comparator）：对比掩模的原图和当前状态，与数据库中的标准模型进行比对以识别偏差。

轮廓仪（Profilometer）：用于测量掩模表面微小高度差异，提供三维轮廓数据以确保掩模符合规格。

视觉系统（Vision System）：结合图像处理软件，自动检测掩模表面的图案偏差和缺陷。