液相外延生长技术检测

光学显微镜观察：使用光学显微镜对外延薄膜的表面形貌进行初步检查，观察是否有明显的缺陷或不均匀。

X射线衍射（XRD）：利用X射线衍射分析外延薄膜的晶体结构，确定生长的晶向和结晶质量。

扫描电子显微镜（SEM）：通过SEM获取薄膜的高分辨率表面形貌图，检查表面平整度和微观缺陷。

透射电子显微镜（TEM）：借助TEM深入分析薄膜的内部结构和缺陷，尤其是在晶界和界面的特性。

原子力显微镜（AFM）：利用AFM测量薄膜表面的粗糙度和台阶结构，获得更加精细的表面信息。

霍尔效应测量：测量薄膜的载流子浓度和迁移率，评估其电学性能。

光致发光（PL）光谱：分析薄膜的光学特性以及活性层中的缺陷和杂质，通过光谱形状和峰位变化进行评估。

光学显微镜：用于观察外延层表面的宏观形貌和结构，快速检测生长过程中的缺陷和不均匀性。

扫描电子显微镜（SEM）：用于分析外延层表面的微观形貌，提供高分辨率图像，帮助识别微小的表面缺陷和成分不均匀。

X射线衍射仪（XRD）：用于测量外延层的晶体结构、取向和应力。通过分析衍射图谱，可以评估外延层的质量和厚度。

原子力显微镜（AFM）：用于测量外延层的表面粗糙度和形貌，能够提供纳米级别的分辨率。

光学椭偏仪：用于非破坏性测量外延层的厚度、折射率和光学常数。通过分析光的偏振态变化来获取信息。

拉曼光谱仪：用于分析外延层的化学成分和应力状态。通过测量材料的振动模式，可以获取有关材料结构的信息。

二次离子质谱仪（SIMS）：用于分析外延层的化学成分和杂质分布，能够提供深度剖面的化学信息。

电阻率测量仪：用于测量外延层的电阻率，以评估其电学性能和材料纯度。