衍射面检测

光学平行光管法：使用光学平行光管，借助光束衍射，可以将衍射面上的瑕疵或不平整部分转化为光条或光斑，通过观察这些光条或光斑的变化来检测衍射面质量。

干涉仪法：利用光的干涉原理，比较测量光束与参考光束，通过干涉条纹的变化识别出衍射面上的缺陷或不规则性。常用的设备包括激光干涉仪。

散射光法：以特定角度入射光线到衍射面，检测散射光的强度和分布来判断表面的凹凸不平或瑕疵。

白光干涉法：使用白光干涉技术，通过分析多色干涉条纹来得到衍射面的表面轮廓和缺陷信息。

反射显微镜法：利用反射显微镜观察衍射面，通过特定放大倍率下的图像特征，识别衍射面上的细微纹理和缺陷。

激光扫描法：用激光束逐点扫描衍射面，通过接收反射或散射光信号分析衍射面表面形貌。

原子力显微镜（AFM）：通过AFM探针接触或非常接近衍射面，测量表面形貌的细微特征及不均匀性。

光学显微镜：用于观察和测量样品的表面形貌，可帮助检测衍射面缺陷。

X射线衍射仪（XRD）：通过X射线与材料相互作用，分析衍射图案以确定晶体结构和缺陷信息。

电子显微镜（SEM/TEM）：提供高分辨率图像，分析样品表面特征和微观结构，包括衍射面的质量。

原子力显微镜（AFM）：利用探针扫描样品表面，获取细微的表面形貌信息，有助于检测衍射面的细节。

白光干涉仪：通过光干涉测量表面形貌，常用于高精度检测和分析衍射面的形变和缺陷。