阴极清洗检测

目视检查：通过肉眼观察，检查阴极表面是否存在明显的污垢、锈迹或其他污染物，以确定清洗效果。

重量测量：在清洗前后称量阴极的重量，判断因污染物清除而造成的重量变化，从而评估清洗效果。

电化学测试：使用电化学测试方法，如电位测量和电流密度测量，评估阴极表面的电化学性能变化，以确认清洗效果。

扫描电子显微镜（SEM）观察：使用SEM进行微观表面观察，检查清洗后表面局部的清洁度及有无残留物。

X射线光电子能谱（XPS）：通过XPS分析阴极表面化学元素组成变化，确认污染物是否已被清除。

表面粗糙度测量：使用粗糙度仪测量表面的粗糙度变化，以评估清洗对表面平整度的影响。

1. **目视检查灯**：利用高亮度光源辅助操作员进行目视检查，以确保阴极清洗后的表面无明显残留。

2. **光学显微镜**：用于放大并观察阴极表面的细节，帮助检测微观污垢或损伤情况。

3. **扫描电子显微镜（SEM）**：用于详细分析阴极表面的微观结构和成分，识别顽固污染物。

4. **能量色散X射线光谱仪（EDX）**：常与SEM配合使用，用于确定清洗后表面残留物的化学成分。

5. **表面轮廓仪**：用于测量阴极表面的粗糙度和轮廓变化，以评价清洗过程的效果。

6. **X射线光电子能谱（XPS）**：用于分析表面的化学状态和组成，提供对清洗有效性的深层次评估。

7. **傅里叶变换红外光谱仪（FTIR）**：用于检测清洗后表面可能残留的有机化合物。

8. **接触角测量仪**：测量阴极表面的润湿性，评估清洗后表面能的变化。