异质结构检测

光学显微镜：使用显微镜观察样品的表面形貌和层间结构，可以提供基本的异质结构信息。

扫描电子显微镜（SEM）：通过扫描电子束观察样品表面，获取高分辨率的局部结构信息。

透射电子显微镜（TEM）：使用透射电子显微镜获取原子级别的详细结构信息，适合研究界面和晶格失配。

X射线衍射（XRD）：利用X射线衍射分析材料的结晶结构和薄膜厚度，是鉴定异质结构的重要工具。

拉曼光谱：通过分析样品的拉曼散射光谱，获取材料的化学组成和相互作用信息，适用于识别界面应力。

能量色散X射线光谱（EDX或EDS）：结合SEM或TEM进行元素分析，用于确认层间材料成分。

原子力显微镜（AFM）：测量表面粗糙度和机械性能，分析异质结构各层的质量和均匀性。

光致发光光谱（PL）：通过激光激发样品，分析光发射性质，了解异质材料的电子结构特性。

二次离子质谱（SIMS）：利用离子束轰击样品，分析产生的二次离子以获取样品的深度成分剖面。

扫描电子显微镜（SEM）：用于高分辨率地观察异质结构的表面形貌，可以提供表面粗糙度和微观结构的详细信息。

透射电子显微镜（TEM）：通过透射电子对样品进行成像，能够观察到异质结构的内部微观结构、晶体缺陷、界面等。

X射线衍射仪（XRD）：用于分析异质结构的晶体结构、相组成和晶格常数，能提供关于材料分层、应力和相变的信息。

原子力显微镜（AFM）：用于测量异质结构的表面形貌和纳米级的表面力学性质，可以在不同环境条件下进行测量。

拉曼光谱仪：主要用于研究异质结构中化学组分和晶体结构变化，通过振动模式提供材料的化学指纹。

能谱仪（EDS）：常与SEM或TEM结合使用，用于分析异质结构的化学组成，提供元素分布和浓度信息。

二次离子质谱（SIMS）：用于高灵敏度地测量异质结构中的元素和同位素分布，可以进行深度剖析和表面分析。