氧化感生堆垛层错检测

高分辨透射电子显微镜（HRTEM）检测法：

利用HRTEM的高空间分辨率对晶体材料进行直接成像。对于氧化感生堆垛层错，通过观察晶粒内部的原子排列，可以直接看到堆垛层错特征。

X射线衍射（XRD）检测法：

通过XRD测量晶体的衍射图谱，分析峰位、峰宽等参数。堆垛层错会引入晶体结构中的缺陷，导致衍射峰的变化，可以通过对比标准样品进行检测。

原子力显微镜（AFM）检测法：

利用AFM的高空间分辨能力，扫描晶体材料的表面形貌，识别由堆垛层错引起的微观形貌变化和纳米级台阶。

光学显微镜（OM）检测法：

借助光学显微镜进行表面观察，可以快速识别较大尺度的堆垛层错特征，通常需要进行预先染色或刻蚀处理以提高对比度。

透射电子显微镜（TEM）高角环形暗场（HAADF）检测法：

利用TEM的HAADF成像技术，以高角度环形暗场探头增强对重元素和晶体缺陷的对比，通过识别图像中高对比度的区域来检测堆垛层错。

X射线衍射仪：通过测量晶体结构中的X射线衍射图谱，可以检测和分析氧化感生堆垛层错的存在及其具体排列方式。

透射电子显微镜（TEM）：利用高能电子束穿透样品，可以直接观察和分析氧化感生堆垛层错的微观结构和相互关系。

扫描电子显微镜（SEM）：利用电子束扫描样品表面，结合背散射电子检测，可以获得样品的表面形貌和元素分布信息，有助于识别层错。

原子力显微镜（AFM）：通过探针扫描样品表面，获取其三维形貌图像，可以精细表征氧化感生堆垛层错的表面特征。

拉曼光谱仪：通过分析样品的拉曼散射光谱，可以提供关于材料内部受应变和缺陷（如层错）引起的晶格振动模式改变的信息。