阴极靶检测

磁粉检测法：利用高强度的磁场和磁粉材料对阴极靶材进行磁性探伤，揭示其表面和近表面的缺陷，如裂纹、夹杂物等。

渗透检测法：通过渗透剂渗入阴极靶材表面的缺陷，然后导出，使用显像剂显现出缺陷的位置和形态，适合检测开放到表面的细小裂纹和孔洞。

超声波检测法：使用高频超声波穿透阴极靶材，根据波的反射和透射特性检测其内部缺陷，适用于查找内部缺陷如气孔、裂缝等。

射线检测法：通过X射线或伽马射线穿透阴极靶材，利用射线的不均匀吸收揭示其内部缺陷，能提供直观的内部结构图像。

电磁超声检测法：结合电磁感应和超声波技术，无需接触，适合检测高温或高表面粗糙度的阴极靶材，查找内部及表面缺陷。

示波器

示波器用于捕捉和分析阴极靶的电气信号输出，帮助检测信号的波形变化及异常情况。

残余气体分析仪 (RGA)

残余气体分析仪可以监测阴极靶系统中的气体成分和浓度，以确保真空环境及气体纯净度符合检测要求。

X射线光电子能谱仪 (XPS)

X射线光电子能谱仪用于分析阴极靶材料的表面化学成分及化学状态，提供材料成分的定量信息。

扫描电子显微镜 (SEM)

扫描电子显微镜用于观察阴极靶表面的电镜图像，提供高分辨率的表面形貌信息，识别微观缺陷和结构。

能量分散X射线光谱仪 (EDS)

能量分散X射线光谱仪作为SEM的附加功能，可以实现对阴极靶材料的元素成分分析。

电阻率测试仪

电阻率测试仪用于测量阴极靶材料的电阻率，确保材料的电学性能符合标准。

功率计

功率计用于测量阴极靶在运行中的功率消耗，确保系统在最佳效率下工作。

质谱仪

质谱仪可用于检测阴极靶产生的离子和分子，以评估靶材的纯度和成分分布。