应力感生扩散检测

SEM（扫描电子显微镜）：利用SEM的高分辨率成像能力，可以观察材料表面和断面的微观结构，通过对比应力前后材料表面的变化，特别是扩散区域的形貌变化，来进行应力感生扩散的检测。

EBSD（电子背散射衍射）：配合SEM使用，通过EBSD可以获取晶体取向信息和应力状态的信息，对扩散路径和位错密度进行分析，进而了解应力下扩散行为。

XRD（X射线衍射）：通过检测样品在不同应力状态下的晶格参数变化，尤其是扩散区域的晶格畸变，来探测应力感生扩散的一些间接证据。

SIMS（二次离子质谱）：可用于探测在应力作用下扩散元素的浓度分布，通过对位点浓度变化的检测来分析应力对扩散行为的影响。

EDS（能量色散X射线光谱）：结合到SEM中，可以通过成分分析来观察扩散前后元素的分布变化，得出应力对扩散过程的影响。

原子力显微镜（AFM）：通过AFM可以在纳米尺度上观察表面形貌的变化，分析在应力作用下的扩散现象，尤其是表面迁移情况。

透射电子显微镜（TEM）：利用其高分辨成像和不同分析模式（如EELS、EDS等），可以详细观察扩散路径、晶体缺陷和应力场对扩散的影响。

应变仪：应变仪用于测量材料或结构在外力作用下变形程度。通过检测应变可判断材料是否处于应力感生扩散状态。

数字万用表：用于测量电流、电压和电阻等参数。这些参数的变化可能反映出应力感生扩散过程中的微观变化。

声发射仪：声发射仪检测材料内部由应力感生扩散引起的微小裂纹和缺陷声音，从而判断应力感生扩散状况。

表面衍射仪：通过表面衍射技术测量材料表面应力分布，评估应力感生扩散对表面结构的影响。

热成像仪：利用红外热成像技术检测材料在应力感生扩散过程中发热情况，分析应力分布和扩散。

超声波探伤仪：超声波探伤仪通过发射和接收超声波来检测材料内部有无缺陷和裂纹，从而判断应力感生扩散情况。