一维光栅检测

光强检测法：利用光电探测器对经光栅衍射后的光强进行检测，通过测量不同衍射角度处的光强分布，确定光栅的周期和衍射特性。

衍射角度测量：通过高精度角度测量设备（如旋转台）测量衍射光束的角度变化，结合已知的光波长和光栅方程，计算光栅的周期。

干涉测量法：利用激光在通过光栅时形成的干涉条纹图案，通过记录和分析干涉条纹的间距和位置变化，确定光栅的物理参数。

傅里叶变换光学法：使用傅里叶变换光学系统（如傅里叶透镜）将光栅的空间频率信息转换到频谱域，通过检测频谱图中的峰值位置和间距，推断光栅的周期结构。

成像检测法：用高分辨率相机捕捉光栅表面的图像，通过图像处理技术分析光栅的周期、占空比等参数。

光栅光谱仪：用于高精度分辨光的不同波长，通过光栅衍射分离多色光，适合检测一维光栅的反射谱或透射谱。

傅里叶变换红外光谱仪（FTIR）：利用时间域内的干涉信息变换到频域，用于一维光栅的红外光谱分析。

激光干涉仪：通过干涉条纹的移动量，能够精确测量一维光栅的空间周期。

原子力显微镜（AFM）：用于测量一维光栅表面的形貌和结构，能够提供纳米级的分辨率。

扫描电子显微镜（SEM）：利用电子束扫描样品表面，可以高分辨观察一维光栅的形貌和周期性结构。

椭偏仪：利用偏振光的变化来测量一维光栅的厚度和光学常数。

共聚焦显微镜：通过激光扫描获取高分辨的光栅结构图像，适用于表面形貌检测。