表面形貌检测

显微镜检测：使用光学显微镜、电子显微镜等设备放大观测物体的表面特征，以获取详细的形貌信息。

扫描探针显微镜(SPM)：利用探针扫描样品表面，通过探针与表面的相互作用来获取形貌信息，如原子力显微镜(AFM)和扫描隧道显微镜(STM)。

激光扫描共聚焦显微镜：通过聚焦的激光束扫描样品表面，结合共聚焦技术获取高分辨率的三维形貌图像。

白光干涉仪：使用白光干涉技术对样品进行三维成像，测量表面的高度变化，以反映表面形貌。

数字全息显微术：利用全息技术记录和重建样品的光场，从而实现对表面形貌的无损检测和分析。

轮廓仪：采用机械或光学方法，沿样品表面移动探针或光束，描绘出表面的二维或三维轮廓。

散射光检测：通过分析散射光的强度和分布，推测出表面的粗糙度和缺陷情况。

扫描电子显微镜（SEM）：用于获取物体表面的高分辨率图像，通过电子束扫描样品表面，能够深入观察微观结构和形貌细节。

原子力显微镜（AFM）：通过探针在样品表面进行扫描，得到三维的表面形貌信息，可用于分析纳米级别的表面特征和精细结构。

激光共聚焦显微镜：运用激光扫描技术，使样品的不同深度聚焦，获得高分辨率的三维表面形貌图像，适用于生物样品的表面结构分析。

干涉显微镜：利用光的干涉原理，通过测量光路径长度的相对变化，获取样品表面的高精度形貌信息，适用于光滑表面的分析。

白光干涉仪：通过使用白光干涉技术，对表面进行非接触扫描，生成三维形貌图，适用于高精度平坦度检测和粗糙度测量。

轮廓仪：通过触针或光学扫描的方式，沿着样品表面进行扫描，以获取轮廓数据，通常用于测量宏观和小尺寸表面的粗糙度。