靶面污染检测

视觉检查法：通过目视检查靶面的外观，识别是否存在明显的污染物，如灰尘、污垢等。

胶带法：使用透明胶带粘附于靶面，再揭下胶带，通过观察胶带上粘附的颗粒或污物来判断靶面是否受污染。

溶剂清洗法：用适当的溶剂（如异丙醇）清洗靶面，然后通过分析清洗液中的污染物成分来评估靶面的清洁程度。

显微镜检查法：采用光学显微镜对靶面进行放大观察，以识别微小的颗粒或细菌等污染物。

测试片法：将特定的测试片放置在靶面上，检测其吸附能力，从而判断靶面的污染水平。

激光散射法：通过激光光束撞击靶面，分析散射光的强度和模式，以确定靶面上的污染物种类和数量。

污染物采样器：用于在靶面上采集污染物样品，以便后续分析。设备通过特定的过滤材料捕获靶面的污染物，确保样品的代表性。

表面污染检测仪：采用便携式设备，利用光谱分析技术快速检测靶面上的污染物质，包括重金属、有机物等，实时反馈污染程度。

超声波清洗器：通过超声波产生的微小气泡实施清洗，去除靶面表面的微小颗粒和污染物，确保靶面的洁净度。

红外测温仪：用于测量靶面温度及状态变化，间接评估其污染程度，通过温度异常可以推测潜在的污染问题。

光学显微镜：在靶面上观察微小颗粒和污染物，采用高倍放大技术，帮助判断污染物的特征和分布情况。

化学分析仪：进行物质成分分析，借助化学反应或物理分离方法，能够定量检测靶面上的特定污染物。

电子鼻：利用传感器技术模拟生物嗅觉，检测靶面上的挥发性有机化合物（VOCs），实时评估气味和潜在污染。