补偿镜检测

目视检查：通过人工目测评估补偿镜的表面质量和潜在的划痕、污垢等缺陷。

干涉仪检测：使用迈克尔逊干涉仪检测补偿镜的表面光学性能和波前质量，识别任何表面误差。

激光干扰检测：利用激光和光电探测器，测量补偿镜对入射光束的相位和幅度变化，以评估其传输特性。

光谱分析：通过光谱仪分析补偿镜透射光谱，评估其在不同波长范围内的传输效率。

温度测试：在不同温度下测试补偿镜的稳定性，确认其在温度波动下的光学性能变化。

环境适应性测试：在不同环境条件下（如湿度、震动）检测补偿镜的性能，确保其在实际使用中可靠。

激光干涉仪：

用于检测补偿镜的形状及表面平整度，通过干涉图样观察可实现高精度测量。

光学测试台：

提供稳定的环境，方便对补偿镜进行光学性能测试，例如反射率、透过率和波前误差等。

高精度千分尺：

可用于对补偿镜厚度进行精准测量，确保镜片的光学性能符合设计要求。

相位差测量仪：

用于测量补偿镜引入的相位差，帮助优化光学系统的性能和成像质量。

透射和反射光谱仪：

用于分析补偿镜对不同波长光的透射和反射特性，确保其在特定应用中的有效性。

数控测量机：

可以对补偿镜进行全面的三维精度检测，确保其符合设计规格。