薄膜导热系数检测

热流计法：使用热流计测量通过薄膜样品的热流密度，并结合已知的温差，计算薄膜的导热系数。这种方法适于薄膜样品较大且导热系数中等的情况。

激光闪光法：用短脉冲激光直接加热薄膜，通过测量热扩散时间（热扩散率），结合薄膜的密度和比热容计算导热系数；常用于快速、高精度测量薄及导热性能差异大的薄膜材料。

稳态平板法：将薄膜夹在两块恒温平板之间，记录热传导达到稳态后的温度差，并使用傅立叶热传导定律计算导热系数，适用于厚度均匀且导热性较好的薄膜。

时间域热反射（TDTR）法：利用飞秒激光脉冲同时加热和探测薄膜，分析薄膜表面温度的时间变化（反射率变化），以获得导热系数信息。这是对超薄膜材料进行表征的非常敏感的方法。

3ω法：向薄膜表面沉积一个金属线并施加交流电流，通过分析交流电产生的3ω成分电压变化（由于温度波动引起的热阻变化），反算出导热系数，这种方法适合于测量绝缘或者低导热薄膜。

交变电热法：向薄膜中引入交变热源（如周期性电流），通过分析其中的响应温度波动频率特性，反演得出导热系数，适合于多层结构的复合薄膜分析。

激光闪光分析仪：用于测量材料的热扩散率，通过短脉冲激光加热样品一面的瞬态温度响应，计算得出材料的热扩散率，从而推导出导热系数。

热流计法导热仪：通过测量加热样品一侧与未加热一侧的温差，以及热流传递，通过公式计算出薄膜的导热系数，适用于薄膜的直接测量。

瞬态平面源法导热仪：利用加热器和温度传感器结合在一起的瞬态平面源，加热时测量指定时间内的温度变化来计算导热系数，适合于测量导热系数较低的薄膜材料。

非稳态热线法：采用热线在薄膜中产生热脉冲，监控热线周围温度变化来判断热传递特性，再通过分析导出导热系数，此方法适用于薄层材料快速测量。

平面热电偶：使用夹置于两薄膜样品之间的热电偶，加上稳定热源后测定温度递减，扩充以方程解析达到导热系数值，应用于简便的初步测量。