表面测量检测

视觉检测法：使用高分辨率相机或显微镜拍摄表面，通过图像分析软件检查表面缺陷，例如划痕、凹陷、斑点或不规则形状。操作人员或机器学习算法可以识别和评估这些问题。

激光扫描法：采用激光扫描仪测量表面的三维形状，通过激光束反射回传的数据构建表面模型，并与设计规格进行比较以确认合规。

接触式轮廓仪：使用具备探针的硬度计或轮廓仪，其探针沿表面移动，通过测量探针的移动和位置变化获取表面测量数据，用于检测微小的表面高度差异。

超声波检测：利用超声波反射特性检查表面，通过超声波发射和接收装置，将声波传播至材料表面，并根据反射波形图识别表面及内层缺陷。

荧光渗透检测：在表面涂抹荧光渗透剂并给予一段渗透时间，清除多余渗透剂，然后加紫外线照射，渗透到缺陷中的剂会发荧光，帮助识别微小裂纹、气孔或孔洞。

电涡流检测法：基于电涡流原理，将探针放置在表面以上，由电流感应的电磁场检测表面和近表层的变化，适用于导电材料及涂层厚度评估。

X射线检测法：使用X射线穿透材料，对密度差异敏感，以拍摄内、外部表面的详细图像，可以发现材料内部隐藏的缺陷。

轮廓仪：用于测量物体表面的微观几何形状，通过探测针感知表面高低变化，绘制轮廓曲线，分析表面粗糙度和波纹度。

激光干涉仪：利用激光束干涉原理，实现对表面形貌的非接触高精度测量，适用于对亚微米级表面平整度、曲率变化的检测。

扫描电子显微镜（SEM）：提供高分辨率的表面视觉图像，适用于观察和分析样品表面的微观结构和元素分布。

原子力显微镜（AFM）：使用微小探针扫描表面，能够在纳米尺度上生成精确的三维拓扑图，用于表面粗糙度、摩擦性质和机械特性的研究。

共聚焦显微镜：采用激光扫描技术实现样品光学切片，获取高分辨率的表面三维成像，广泛应用于半导体、材料科学等领域的表面形态分析。

表面粗糙度仪：通过探针或光学方式获得表面轮廓数据，提供粗糙度参数，如Ra、Rz，广泛用于机械加工和产品质量控制。

白光干涉仪：利用白光干涉原理进行精确的表面形貌测量，可生成三维表面图像，适合高反射材料和平面度测量。