点击:丨发布时间:2024-12-01 14:07:49丨关键词:靶平面检测
参考周期:常规试验7-15工作日,加急试验5个工作日。
因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。
CMA/CNAS等证书详情,因时间等不可抗拒因素会发生变更,请咨询在线工程师。
北京中科光析科学技术研究所实验室进行的靶平面检测,可出具严谨、合法、合规的第三方检测报告。检测范围包括:靶平面样品分类:激光刻蚀光罩、硅片、光掩膜、曝光版、透明;检测项目包括不限于靶平面平整度、靶平面垂直度、靶平面表面粗糙度、靶平面尺寸精度等。
方法一:图像处理法。利用数字图像处理技术,通过捕获靶平面的图像,对其进行预处理、边缘检测和特征提取,从而检测出靶平面的形态和位置。
方法二:超声波检测法。应用超声波传感器,向靶平面发射超声波并接收其反射波,测量和分析反射波的时间和特性,以确定靶平面的存在和特征。
方法三:激光测距法。使用激光测距仪器,向靶平面发射激光束,测量激光从发射到返回的时间差,从而计算出靶平面的距离和角度信息。
方法四:雷达探测法。通过雷达系统发射电磁波,在遇到靶平面时发生反射,接收反射波,分析其频率、相位和时间差,以掌握靶平面的定位信息。
方法五:电磁感应法。利用电磁感应原理,当靶平面为导电材料时,在附近放置感应线圈,测量通过感应线圈的感应电流变化,识别靶平面的位置和性质。
方法六:红外热成像法。采用红外热成像设备,捕获靶平面的热辐射图像,分析温度差异特征,为靶平面的检测和识别提供依据。
热成像仪:能够检测和识别靶平面的温度分布,通过温差判断异常或缺陷。
激光位移传感器:利用激光束测量靶平面的平整度和位移差,以高精度定位目标。
光学相机:通过光学成像捕捉靶平面表面的细节,用于可视化分析和缺陷识别。
超声波探测仪:通过超声波反射和透射检查靶平面的内部结构完整性。
电磁检测仪:通过电磁感应测量靶平面的导电性和磁性变化,检测材质的均匀性和缺陷。
振动分析仪:测量靶平面在外力作用下的振动特性,判断结构稳定性和材料属性。
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GB/T 39158-2020