氢化氧铪检测

点击：丨发布时间：2025-02-18 17:16:03丨关键词：氢化氧铪测试案例,氢化氧铪测试范围,氢化氧铪测试标准

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参考周期：常规试验7-15工作日，加急试验5个工作日。

因业务调整，暂不接受个人委托测试，望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师。

检测项目

氢化氧铪（HfO₂·xH）检测主要针对以下关键指标：

化学组成分析：HfO₂与结合氢的摩尔比测定，杂质元素（如Zr、Y）含量检测

晶体结构表征：单斜相/四方相比例、晶格参数、结晶度分析

物理性能测试：密度（4.5-5.7 g/cm³）、维氏硬度（8-12 GPa）、热膨胀系数（5.5×10⁻⁶/℃）

表面特性检测：表面粗糙度（Ra≤0.5nm）、氧化层厚度（2-50nm）、界面缺陷密度

功能特性评估：介电常数（20-25）、漏电流密度（＜1×10⁻⁷ A/cm²）、抗辐射性能

检测范围

检测方法

X射线衍射（XRD）

采用Bruker D8 Advance型衍射仪，Cu Kα辐射（λ=1.5406Å），扫描范围10°-80°，步长0.02°，通过Rietveld精修计算相组成。

X射线光电子能谱（XPS）

使用Thermo Scientific K-Alpha+系统，单色化Al Kα射线（1486.6eV），结合能校正采用C1s（284.8eV），深度剖析采用Ar+溅射（1kV）。

飞行时间二次离子质谱（TOF-SIMS）

ION-TOF V型设备，Bi³⁺初级离子束（25kV），分析区域100×100μm²，检测H⁻（m/z=1）、HfO₂⁻（m/z=210）等特征碎片。

椭偏光谱法

J.A. Woollam M-2000UI型椭偏仪，光谱范围245-1700nm，入射角65°-75°，通过B-spline模型拟合获取膜厚与光学常数。

检测仪器

场发射扫描电镜（FE-SEM）

Hitachi SU8220：分辨率0.8nm@15kV，配备牛津X-MaxN 150能谱仪

高分辨透射电镜（HRTEM）

JEOL JEM-ARM300F：点分辨率0.07nm，STEM模式下HAADF探测器

电感耦合等离子体质谱（ICP-MS）

Agilent 8900：质量范围2-260amu，检出限＜0.1ppt，搭配激光烧蚀系统

傅里叶变换红外光谱（FTIR）

Thermo Nicolet iS50：光谱范围7800-350cm⁻¹，DTGS检测器，ATR附件

.instrument-grid { display: grid; grid-template-columns: repeat(2, 1fr); gap: 20px; } .instrument { padding: 15px; border: 1px solid #ddd; border-radius: 5px; }