等离子气体检测
点击：丨发布时间：2025-03-12 15:49:17丨关键词：等离子气体测试范围,等离子气体测试标准,等离子气体测试案例
参考周期：常规试验7-15工作日，加急试验5个工作日。
因业务调整，暂不接受个人委托测试，望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。
CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师。
检测项目
等离子体气体浓度：检测范围0.1ppm-100%，精度±0.5%FS
气体流速：测量范围0.1-50L/min，分辨率0.01L/min
电离效率：电子温度1-10eV，离子密度10^8-10^12/cm³
气体温度：检测范围300-5000K，红外测温精度±1.5%
痕量杂质分析：检测限0.01ppm（He/Ar基体）
检测范围
半导体制造用工艺气体（SiH4、NF3、CF4等）
金属表面处理等离子体（N2/H2混合气体）
高分子材料改性用反应气体（O2、CO2等离子体）
医疗灭菌设备放电气体（H2O2蒸汽等离子体）
航空航天用耐高温涂层制备气体（Ar/He混合等离子体）
检测方法
ASTM E260-2019：气相色谱法测定等离子体气体组分
ISO 13370:2017：激光光谱法测量电离气体温度
GB/T 14850-2020：四极杆质谱法检测痕量杂质
ASTM F1461-2021：Langmuir探针法测定等离子体参数
GB 3836.5-2017：爆炸性环境用等离子体气体安全检测
检测设备
Thermo Scientific iCAP 7400：全谱直读等离子体光谱仪，支持多元素同步分析
Agilent 8890 GC：配备FID/TCD双检测器，可检测0.1ppm级气体组分
Pfeiffer Vacuum QMG 220：四极质谱仪，质量数范围1-100amu
FLIR A655sc：高速红外热像仪，测温范围300-2000℃
TSI 4040：高精度质量流量计，精度±0.8%读数
北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】
报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期：7~15工作日，可加急。
资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试：支持定制化试验方案。
售后：报告终身可查，工程师1v1服务。
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