化学气相沉积法检测

点击：丨发布时间：2025-03-13 10:55:57丨关键词：化学气相沉积法项目报价,化学气相沉积法测试标准,化学气相沉积法测试周期

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参考周期：常规试验7-15工作日，加急试验5个工作日。

因业务调整，暂不接受个人委托测试，望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师。

检测项目

薄膜厚度检测（范围：0.1-100μm，精度±0.5nm）

元素成分分析（检测限：0.1%-99.9%，EDS/XPS定量）

表面粗糙度测试（Ra值范围：1nm-1μm，AFM/白光干涉法）

膜层附着力评估（划痕临界载荷：1-50N，ASTM C1624标准）

结晶结构表征（XRD半峰宽＜0.1°，晶粒尺寸5-500nm）

检测范围

半导体材料：SiC外延层、GaN薄膜、石墨烯等

金属涂层：TiN、Al₂O₃、DLC硬质涂层

陶瓷材料：Si₃N₄基板、ZrO₂热障涂层

光学薄膜：ITO透明导电膜、SiO₂/TiO₂多层膜

纳米材料：碳纳米管阵列、二维过渡金属硫化物

检测方法

膜厚测试：ASTM F76（椭圆偏振法）、GB/T 16535（台阶仪法）

成分分析：ISO 14637（EDS能谱法）、GB/T 17359（XPS深度剖析）

结构表征：ISO 20203（XRD物相分析）、ASTM E2865（拉曼光谱）

附着力测试：ISO 26443（划痕法）、GB/T 30756（压痕法）

电学性能：IEC 61788（超导薄膜临界电流密度测试）

检测设备

Dektak XT Profilometer（台阶仪，垂直分辨率0.1nm）

FEI Nova NanoSEM 450（场发射电镜，EDS能谱附件）

Thermo Scientific Nexsa XPS（X射线光电子能谱，Ar+刻蚀功能）

Bruker D8 ADVANCE XRD（高分辨率衍射仪，Cu靶Kα辐射）

CSM Revetest Scratch Tester（划痕仪，最大载荷100N）

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。