化学气相沉积法检测

点击:丨发布时间:2025-03-13 10:55:57丨关键词:化学气相沉积法项目报价,化学气相沉积法测试标准,化学气相沉积法测试周期

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参考周期:常规试验7-15工作日,加急试验5个工作日。

因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。

CMA/CNAS等证书详情,因时间等不可抗拒因素会发生变更,请咨询在线工程师。

检测项目

薄膜厚度检测(范围:0.1-100μm,精度±0.5nm)

元素成分分析(检测限:0.1%-99.9%,EDS/XPS定量)

表面粗糙度测试(Ra值范围:1nm-1μm,AFM/白光干涉法)

膜层附着力评估(划痕临界载荷:1-50N,ASTM C1624标准)

结晶结构表征(XRD半峰宽<0.1°,晶粒尺寸5-500nm)

检测范围

半导体材料:SiC外延层、GaN薄膜、石墨烯等

金属涂层:TiN、Al2O3、DLC硬质涂层

陶瓷材料:Si3N4基板、ZrO2热障涂层

光学薄膜:ITO透明导电膜、SiO2/TiO2多层膜

纳米材料:碳纳米管阵列、二维过渡金属硫化物

检测方法

膜厚测试:ASTM F76(椭圆偏振法)、GB/T 16535(台阶仪法)

成分分析:ISO 14637(EDS能谱法)、GB/T 17359(XPS深度剖析)

结构表征:ISO 20203(XRD物相分析)、ASTM E2865(拉曼光谱)

附着力测试:ISO 26443(划痕法)、GB/T 30756(压痕法)

电学性能:IEC 61788(超导薄膜临界电流密度测试)

检测设备

Dektak XT Profilometer(台阶仪,垂直分辨率0.1nm)

FEI Nova NanoSEM 450(场发射电镜,EDS能谱附件)

Thermo Scientific Nexsa XPS(X射线光电子能谱,Ar+刻蚀功能)

Bruker D8 ADVANCE XRD(高分辨率衍射仪,Cu靶Kα辐射)

CSM Revetest Scratch Tester(划痕仪,最大载荷100N)

北京中科光析科学技术研究所【简称:中析研究所】

报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期:7~15工作日,可加急。

资质:旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试:支持定制化试验方案。

售后:报告终身可查,工程师1v1服务。