激光干涉仪检测
点击：丨发布时间：2025-03-14 15:21:44丨关键词：激光干涉仪测试标准,激光干涉仪测试机构,激光干涉仪测试仪器
参考周期：常规试验7-15工作日，加急试验5个工作日。
因业务调整，暂不接受个人委托测试，望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。
CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师。
检测项目
平面度误差：测量范围±0.1μm/m，精度等级≤λ/20（λ=632.8nm）
表面粗糙度：Ra检测范围0.05-10μm，符合ISO 4287标准
光学面形精度：PV值（峰谷值）≤λ/4，RMS值≤λ/20
位移测量精度：线性分辨率0.1nm，最大量程200mm
材料热膨胀系数：温度控制±0.1℃，检测灵敏度1×10⁻⁷/K
检测范围
光学玻璃：包括透镜、棱镜、窗口片等透射元件
金属材料：铝合金、钛合金等精密加工件表面质量检测
半导体晶圆：300mm直径硅片表面平整度与厚度均匀性
复合材料：碳纤维增强塑料(CFRP)层间变形分析
高分子薄膜：PET/PC基材厚度波动检测（5-500μm）
检测方法
ASTM E284-22：标准表面粗糙度测量规程
ISO 10110-5:2015：光学元件面形偏差测试方法
GB/T 11162-2022：激光干涉仪长度测量方法
ISO 14978:2018：几何量测量设备通用规范
GB/T 16857-2016：坐标测量机验收检测规范
检测设备
ZYGO Verifire HDX：4D干涉系统，波长632.8nm，重复性＜0.1nm
Keysight 5530：动态干涉仪，最大采样率100kHz，位移分辨率0.01nm
Taylor Hobson CCI HD：白光干涉仪，垂直分辨率0.01nm，XY扫描范围300×300mm
Renishaw XL-80：激光干涉系统，线性测量精度±0.5ppm，环境补偿功能
Mitutoyo LSM-9000：激光扫描显微镜，Z轴分辨率1nm，最大倍率1000X
北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】
报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期：7~15工作日，可加急。
资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试：支持定制化试验方案。
售后：报告终身可查，工程师1v1服务。
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