点击:丨发布时间:2025-03-14 15:21:44丨关键词:激光干涉仪测试标准,激光干涉仪测试机构,激光干涉仪测试仪器
参考周期:常规试验7-15工作日,加急试验5个工作日。
因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。
CMA/CNAS等证书详情,因时间等不可抗拒因素会发生变更,请咨询在线工程师。
平面度误差:测量范围±0.1μm/m,精度等级≤λ/20(λ=632.8nm)
表面粗糙度:Ra检测范围0.05-10μm,符合ISO 4287标准
光学面形精度:PV值(峰谷值)≤λ/4,RMS值≤λ/20
位移测量精度:线性分辨率0.1nm,最大量程200mm
材料热膨胀系数:温度控制±0.1℃,检测灵敏度1×10⁻⁷/K
光学玻璃:包括透镜、棱镜、窗口片等透射元件
金属材料:铝合金、钛合金等精密加工件表面质量检测
半导体晶圆:300mm直径硅片表面平整度与厚度均匀性
复合材料:碳纤维增强塑料(CFRP)层间变形分析
高分子薄膜:PET/PC基材厚度波动检测(5-500μm)
ASTM E284-22:标准表面粗糙度测量规程
ISO 10110-5:2015:光学元件面形偏差测试方法
GB/T 11162-2022:激光干涉仪长度测量方法
ISO 14978:2018:几何量测量设备通用规范
GB/T 16857-2016:坐标测量机验收检测规范
ZYGO Verifire HDX:4D干涉系统,波长632.8nm,重复性<0.1nm
Keysight 5530:动态干涉仪,最大采样率100kHz,位移分辨率0.01nm
Taylor Hobson CCI HD:白光干涉仪,垂直分辨率0.01nm,XY扫描范围300×300mm
Renishaw XL-80:激光干涉系统,线性测量精度±0.5ppm,环境补偿功能
Mitutoyo LSM-9000:激光扫描显微镜,Z轴分辨率1nm,最大倍率1000X
报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期:7~15工作日,可加急。
资质:旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试:支持定制化试验方案。
售后:报告终身可查,工程师1v1服务。