激光干涉仪检测

点击:丨发布时间:2025-03-14 15:21:44丨关键词:激光干涉仪测试标准,激光干涉仪测试机构,激光干涉仪测试仪器

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参考周期:常规试验7-15工作日,加急试验5个工作日。

因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。

CMA/CNAS等证书详情,因时间等不可抗拒因素会发生变更,请咨询在线工程师。

检测项目

平面度误差:测量范围±0.1μm/m,精度等级≤λ/20(λ=632.8nm)

表面粗糙度:Ra检测范围0.05-10μm,符合ISO 4287标准

光学面形精度:PV值(峰谷值)≤λ/4,RMS值≤λ/20

位移测量精度:线性分辨率0.1nm,最大量程200mm

材料热膨胀系数:温度控制±0.1℃,检测灵敏度1×10⁻⁷/K

检测范围

光学玻璃:包括透镜、棱镜、窗口片等透射元件

金属材料:铝合金、钛合金等精密加工件表面质量检测

半导体晶圆:300mm直径硅片表面平整度与厚度均匀性

复合材料:碳纤维增强塑料(CFRP)层间变形分析

高分子薄膜:PET/PC基材厚度波动检测(5-500μm)

检测方法

ASTM E284-22:标准表面粗糙度测量规程

ISO 10110-5:2015:光学元件面形偏差测试方法

GB/T 11162-2022:激光干涉仪长度测量方法

ISO 14978:2018:几何量测量设备通用规范

GB/T 16857-2016:坐标测量机验收检测规范

检测设备

ZYGO Verifire HDX:4D干涉系统,波长632.8nm,重复性<0.1nm

Keysight 5530:动态干涉仪,最大采样率100kHz,位移分辨率0.01nm

Taylor Hobson CCI HD:白光干涉仪,垂直分辨率0.01nm,XY扫描范围300×300mm

Renishaw XL-80:激光干涉系统,线性测量精度±0.5ppm,环境补偿功能

Mitutoyo LSM-9000:激光扫描显微镜,Z轴分辨率1nm,最大倍率1000X

北京中科光析科学技术研究所【简称:中析研究所】

报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期:7~15工作日,可加急。

资质:旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试:支持定制化试验方案。

售后:报告终身可查,工程师1v1服务。