氦检sop检测

点击：丨发布时间：2025-03-15 14:29:05丨关键词：氦检sop测试周期,氦检sop测试机构,氦检sop测试标准

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参考周期：常规试验7-15工作日，加急试验5个工作日。

因业务调整，暂不接受个人委托测试，望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师。

检测项目

泄漏率测试：灵敏度1×10^-9~1×10^-12 mbar·L/s

密封性评估：压力范围0.1~40 bar（绝对压力）

真空系统兼容性测试：极限真空度≤5×10^-6 mbar

示踪气体残留量分析：氦浓度≤50 ppm（体积比）

压力循环耐久性测试：循环次数≥500次（-0.95~+1.5 bar）

检测范围

真空设备：真空腔体、分子泵组、低温冷阱

半导体组件：晶圆传输模块、刻蚀反应室、ALD镀膜腔

汽车零部件：燃料电池双极板、EV电池包壳体、空调管路

医疗设备：MRI超导磁体杜瓦、血液透析器封装件

航空航天部件：卫星推进剂贮箱、航天服生命维持系统

检测方法

ASTM E499/E499M-22：质谱仪示踪气体检漏标准方法

ISO 20485:2017：非破坏性试验-氦泄漏检测系统校准规范

GB/T 12604.7-2021：无损检测术语 泄漏检测

GB/T 34635-2017：真空技术 氦质谱检漏仪校准方法

ASME BPVC Section V Art.10：承压设备真空盒法检漏规程

检测设备

氦质谱检漏仪（INFICON HLT560）：最小可检漏率5×10^-13 mbar·L/s，集成双通道质谱分析模块

真空辅助系统（Leybold PHOENIX L300i）：极限真空5×10^-7 mbar，配备分子泵+涡旋干泵组

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。