空间像检测

点击:3丨发布时间:2025-03-31 10:34:16丨关键词:空间像项目报价,空间像测试案例,空间像测试周期

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参考周期:常规试验7-15工作日,加急试验5个工作日。

因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。

检测/CNAS等证书详情,因时间等不可抗拒因素会发生变更,请咨询在线工程师。

检测项目

1.像场均匀性:测量全视场光强分布差异度(3%以内)

2.畸变率:量化径向/切向畸变误差(≤0.05%)

3.调制传递函数(MTF):在空间频率50lp/mm时保持≥0.6

4.波前像差:RMS值控制在λ/20(λ=632.8nm)

5.焦平面偏移量:轴向位移精度0.5μm

6.杂散光系数:非成像区域光强占比<0.1%

检测范围

1.高精度光学镜头组(含非球面/自由曲面元件)

2.半导体光刻机投影物镜系统

3.液晶显示面板曝光模组

4.航天遥感相机光学载荷

5.激光直写设备聚焦系统

6.显微物镜与望远系统组合件

检测方法

1.ASTME307-16《光学系统波前测量标准方法》

2.ISO9334:2012《光学传递函数测量程序》

3.GB/T13323-2009《光学系统畸变测试方法》

4.ISO10110-5:2015《光学元件表面缺陷评价》

5.GB/T26331-2010《光学系统杂散光测试规范》

6.SEMIP35-1108《光刻机成像性能测试指南》

检测设备

1.ZygoVerifireMST干涉仪:波长632.8nm,PV重复精度λ/500

2.TriopticsImageMasterHRMTF测试仪:最大分辨率300lp/mm

3.MitutoyoMF-U1000测量显微镜:物镜NA=0.95,XY定位精度0.3μm

4.OptikosLensCheck系列光具座:焦距测量范围10-2000mm

5.BrukerContourGT-X3白光干涉仪:垂直分辨率0.1nm

6.ThorlabsWFS-300波前传感器:采样率1500帧/秒

7.KeyenceLT-9010M激光位移计:量程5mm,线性度0.02%FS

8.OphirSpiriconM2-200光束质量分析仪:CCD像素尺寸4.4μm4.4μm

9.NikonNEXIVVM-500影像测量系统:最大放大倍率3500X

10.Agilent5530动态校准仪:线性位移精度0.1μm/m

北京中科光析科学技术研究所【简称:中析研究所】

📝 报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

⏳ 检测周期:7~15工作日,可加急。

🏅 资质:旗下实验室可出具检测/CNAS资质报告。

📏 标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

🔬 非标测试:支持定制化试验方案。

📞 售后:报告终身可查,工程师1v1服务。