1.角度定位偏差:测量范围180,精度0.01,分辨率0.001
2.径向位移误差:量程0-500mm,允许偏差≤0.5μm/m
3.重复定位精度:连续10次循环测试标准差≤0.003(角度)/0.2μm(径向)
4.动态响应特性:频率范围0-100Hz下的相位延迟≤1ms
5.温度漂移系数:20-40℃范围内角度稳定性≤0.005/℃
1.精密机械部件:数控转台、谐波减速器
2.光学元件:菲涅尔透镜阵列、激光振镜系统
3.半导体制造设备:晶圆对准平台、光刻机工件台
4.航空航天导航系统:惯性测量单元(IMU)、星敏感器支架
5.工业机器人关节:RV减速机、协作机器人旋转轴
国际标准:ASTME3061-17(角度偏差测试)、ISO230-2:2014(重复定位精度评估)、IEC62137-4:2019(动态特性分析)
国家标准:GB/T17421.3-2018(极坐标系统综合误差评定)、GB/T11336-2021(旋转轴系几何精度检验)
1.RenishawXL-80激光干涉仪:分辨率0.001μm,支持动态误差分析
2.HexagonGlobalS07.10.07三坐标测量机:空间精度1.9+L/300μm
3.PolytecPSV-500扫描式激光测振仪:频率范围DC-25MHz
4.KeysightN6781A高精度电源模块:电流纹波<10μARMS
5.OMRONR88D-KN系列伺服驱动器:位置控制分辨率24bit
6.APIXDLaser六维激光跟踪仪:角度测量精度0.5″
7.MitutoyoRH-2000圆度仪:径向误差解析度0.01μm
8.NIPXIe-5171R高速采集卡:采样率250MS/s
📝 报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
⏳ 检测周期:7~15工作日,可加急。
🏅 资质:旗下实验室可出具检测/CNAS资质报告。
📏 标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
🔬 非标测试:支持定制化试验方案。
📞 售后:报告终身可查,工程师1v1服务。