半导体用超纯水检测

半导体用超纯水的检测方法可以分为以下几个步骤：

1. 采集样品：首先要采集待检测的超纯水样品，可以使用专门的采样瓶或者器皿进行采集。

2. pH值检测：将采集到的超纯水样品放入pH仪器中进行检测，测量其酸碱度。超纯水一般应当接近中性。

3. 电导率检测：将超纯水样品放入电导率计中测量，电导率实际上就是水中的离子含量。超纯水的电导率应当很低，接近于零。

4. 含气量检测：将超纯水样品放入气溶胶粒子计数器中检测，测量其气溶胶粒子浓度。超纯水应当没有或极少量气溶胶粒子。

5. 有机物检测：可以使用有机物分析仪器对超纯水样品中的有机物进行检测，例如高效液相色谱仪、气相色谱仪等。超纯水中的有机物含量应当非常低。

超纯水在半导体生产过程中起到非常重要的作用，其主要作用如下：

1.质量检测仪器：

• 电导率仪：用于检测超纯水的电导率，即水的导电性，通过测量电导率可以判断水中杂质的含量。
• 溶解氧仪：用于测量水中溶解氧的含量，超纯水中溶解氧的含量需要严格控制。
• pH计：用于测量超纯水的酸碱性，超纯水的pH值需要控制在一定的范围内。
• 浊度计：用于测量超纯水中悬浮物的含量，超纯水应该是无色透明的。

2.微生物检测仪器：

• 生物计数器：用于快速检测超纯水中微生物的数目，超纯水中微生物的含量应该非常低。

3.有机物检测仪器：

• 气相色谱仪-质谱仪联用（GC-MS）：用于分析超纯水中有机物的种类和含量，超纯水中有机物的含量应该非常低。